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中山大学捷佳伟创申请高长径比靶材制备方法专利能实现在电子束轰击过程中不会炸裂

发布时间:2026-01-28 05:37:38  点击量:
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中山大学捷佳伟创申请高长径比靶材制备方法专利能实现在电子束轰击过程中不会炸裂

  国家知识产权局信息显示,中山大学、深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司申请一项名为“一种高长径比靶材及其制备方法和应用”的专利,公开号CN121342482A,申请日期为2024年7月。

  专利摘要显示,本发明公开了一种高长径比靶材及其制备方法和应用。本发明的高长径比靶材的制备方法包括以下步骤:1)制备混合物粉体;2)将混合物粉体进行预烧,得到预烧粉体;3)将预烧粉体、粘结剂、分散剂和溶剂混合进行球磨或砂磨,再进行干燥和造粒,得到造粒颗粒;4)将不同粒径的造粒颗粒注入模具,通过多段分级升压保压进行成型,得到坯件;5)将坯件进行烧结,得高长径比靶材。本发明通过改进坯体压制过程、靶材组成成分、预烧与烧结的气氛、造粒颗粒组成、烧结工艺等,制备得到了高长径比、均匀性好、具有一定电导率、在电子束轰击过程中不会炸裂的靶材,适合进行大规模工业化生产和应用。

  声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。




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